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静电卡盘

静电吸附技术在泛半导体、光学等领域中有着广泛应用。静电卡盘(E-CHUCK)是一?#36136;?#29992;于真空及等离子体工况环境的超洁净晶圆片承载体,它利用静电吸附原理进行超薄晶圆片的平整均匀夹持,是PVD、ETCH、离子注入等高端装备的核心部件。
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