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华卓精科获1.39亿国家科技重大专项资金

发布人:北京华卓精科科技股份有限公司 发布时间:2018-09-25 浏览次数:3885

      9月21日,华卓精科(834733)发布公告称,公司近日收到北京市经济和信息化委员会拨付的国家科技重大专项中央财政资金合计1.39亿元。

      公告显示,华卓精科此次收到的专项资金项目为两个,分别是“浸没式光刻机双工件台产品研制与能力建设”项目5291.1万元、“浸没双工件台平面光栅位置测量系统研发”项目8614.1万元。


       华卓精科是一家专注集成电路高端整机装备、超精密运动系统、精密仪器设备的国家级高新技术企业。从2009年开始承担国家光刻机重大专项,针对65纳米双工件台样机开展研发,突破了包括超精密机械设计、超精密测量、超精密运动控制等多项关键技术,于2014年成功研制出我国第一台采用平面电机技术的65纳米光刻机双工件台样机,实现2纳米同步运动精度,达到国际同类产品先进水平,实现了跨越式发展,使我国成为世界?#31995;?#20108;个掌握该技术的国家。



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