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华卓精科面向国内外的IC制造、光学、超精密制造等行业,致力于为行业提供整机装备、核心子?#20302;场?#20851;键零部件和定?#21697;?#21153;,主营产品包含高端整机、超精密运动?#20302;场?#31934;密仪器设备和高端特种制造等方面。华卓精科以国内著名高校的原发技术为基础,经过多年技术攻关和客户实用,形成了坚实规范的技术研发体系,现在已经成功推出了光刻机双工件台、精密隔振、超精密运动?#20302;场?#20851;键零部件等系?#35874;?#20135;品。

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  • 高端设备类产品

    高端设备类产品

    整体化的?#20302;?#24037;艺解决方案
    满足从工艺试验研究到工业级产品的要求
    独特的工艺参数调节与优化匹配技术
    从纳米到微米的大范围退火深度
    高的退火激活率
    标准化的Cassette/FOUP晶圆传输
    完全兼容SEMI行业标准
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  • 超精密运动产品

    超精密运动产品

    高精度
    重复定位精度:优于1μm
    亚微米级重复定位精度、直线度和平面度
    高动态性能
    1g加速度,速?#20219;?#23450;性低于0.1%
    长期稳定性
    非接触的导轨、驱动、测量设计
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  • 隔振产品

    隔振产品

    高性能空气弹簧
    固有频?#22763;?#36798;2.5Hz,最高隔振效率达90%
    自动调节水平
    高精?#20154;?#24179;阀,自动调节水平,使台面轻松恢复水平状态
    限位保护
    独特的弓形限位保护装置,确保平台移动或工作中安全
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  • 静电卡盘

    静电卡盘

    可吸附物体:绝缘体、半导体、导体
    工作环境:真空、等离子体、大气
    吸附特点:柔性均?#20219;?#38468;、不损伤工件
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  • 制造中心

    制造中心

    $it.pro_summary$ 了解更多
  • 华卓精科荣获2018年度北京市科学技术一等奖

  • 华卓精科产品获中国专利银奖

  • 华卓精科五轴全气浮精密运动台进入知名企业生产线,保持国内气浮运动平台技术领先地位

  • 华卓精科获1.39亿国家科技重大专项?#24335;?/p>

  • 未来精密之“芯?#20445;?#29301;动国人心——朱煜教授专访

  • 华卓精科:中国光刻机核心零部件顶尖供应商

  • 朱煜:精密事业

  • 朱煜:5年攻坚,我们实现了“?#20351;?#26126;珠”国产化

销售部:010-62780929
市场部:010-62780928

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