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北京华卓精科科技股份有限公司面向国内外的IC制造、光学、太阳能、超精密制造等行业，致力于为行业提供整机装备、核心子?#20302;场?#20851;键零部件和定?#21697;?#21153;，主营业务包含高端整机、超精密运动?#20302;场?#31934;密仪器设备和高端特种制造等方面。华卓精科以国内著名高校的原发技术为基础，经过多年技术攻关和客户实用，形成了坚实规范的技术研发体系，现在已经成功推出了隔振、超精密运动?#20302;场?#20851;键零部件等系?#35874;?#20135;品，广泛应用于各类企事业单位 ...

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超高端精密运动控制产品

超高端精密运动控制产品
DWS系列——?#35270;?#20110;干式步进扫描光刻机
DWSI系列——?#35270;?#20110;浸没式步进扫描光刻机了解更多
高端设备类产品

高端设备类产品
整体化的?#20302;?#24037;艺解决方案
满足从工艺试验研究到工业级产品的要求
独特的工艺参数调节与优化匹配技术
从纳米到微米的大范围退火深度
高的退火激活率
标准化的Cassette/FOUP晶圆传输
完全兼容SEMI行业标准了解更多
超精密运动产品

超精密运动产品
高精度
重复定位精度：优于1μm
亚微米级重复定位精度、直线度和平面度
高动态性能
1g加速度，速度稳定性低于0.1%
长期稳定性
非接触的导轨、驱动、测量设计了解更多
隔振产品

隔振产品
高性能空气弹簧
固有频?#22763;?#36798;2.5Hz，最高隔振效率达90%
自动调节水平
高精?#20154;?#24179;阀，自动调节水平，使台面轻松恢复水平状态
限位保护
独特的弓形限位保护装置，确保平台移动或工作中安全了解更多
静电卡盘

静电卡盘
可吸附物体：绝缘体、半导体、导体
工作环境：真空、等离子体、大气
吸附特点：柔性均匀吸附、不损伤工件了解更多
制造中心

制造中心
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